[发明专利]混合型微/宏板阀

摘要

一种微阀装置包括先导阀和先导操作阀。先导阀包括具有开口的第一层，和具有与这些开口流体相通的腔室的第二层，和用于控制流体流动的可动部件。先导操作阀包括三个板。两个开口，压力供应和压力释放通道与先导操作阀的阀芯部分流体相通。阀芯可动以允许从第二流体源到负载的流动。第三板包括与第一流体，所述压力供应和压力释放通道，第一板端口中的一个，所述开口中的一个流体相通的第一源端口，与第一储存器流体相通的第一端口，与第二流体源流体相通的第二端口，和与负载流体相通的负载端口。

主权项

1、一种用于控制第一阀操作的微阀，包括：多个限定本体的层，该本体具有腔室和多个与该腔室流体相通的端口；位于所述腔室中的可动部分，该可动部分选择性地移动以控制在第一流体回路中的流体流动；其中，当流体从第一流体源流过该腔室时，所述第一阀移动至第一位置，而当流体从第一阀通过该腔室流至第一流体储存器时，第一阀移动至第二位置。