[发明专利]用于形成铁电薄膜的组合物、铁电薄膜及其制造方法、液体喷射头无效
| 申请号： | 200580006103.8 | 申请日： | 2005-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN1922743A | 公开（公告）日： | 2007-02-28 |
| 发明（设计）人： | 角浩二 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | H01L41/22 | 分类号： | H01L41/22;C01G25/00 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 柳春雷 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供了一种用于形成铁电薄膜的组合物，其是一种可应用于MOD法的、可长期维持有机金属化合物的优异的分散稳定性及储存稳定性的胶体状溶液；一种铁电薄膜；一种制造铁电薄膜的方法；以及一种液体喷射头。在根据MOD法形成铁电薄膜时使用一种用于形成铁电薄膜的组合物，所述组合物由可应用于MOD法的胶体状溶液制成，所述胶体状溶液包括包含构成铁电薄膜的金属的有机金属化合物，所述组合物包含非所述有机金属化合物中的结晶水的水。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 形成 薄膜 组合 及其 制造 方法 液体 喷射 | ||
【主权项】：
1.一种用于形成铁电薄膜的组合物，所述组合物由可应用于金属有机沉积法的胶体状溶液制成，所述胶体状溶液包括包含构成铁电薄膜的金属的有机金属化合物，所述组合物至少包括：非所述有机金属化合物中的结晶水的水。
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