[发明专利]驻极体电容器无效

专利信息
申请号: 200580006382.8 申请日: 2005-02-07
公开(公告)号: CN1926918A 公开(公告)日: 2007-03-07
发明(设计)人: 山冈彻;小仓洋;三由裕一 申请(专利权)人: 松下电器产业株式会社
主分类号: H04R19/01 分类号: H04R19/01;H04R19/04
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 代理人: 汪惠民
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 驻极体电容器包括:具有由上部电极构成的导电膜118的固定膜110,具有下部电极104及由驻极体膜构成的氧化硅膜105的振动膜112,以及具有在固定膜110与振动膜112之间形成且具有空气隙109的氧化硅膜108。固定膜110及振动膜112的露出在空气隙109的部分分别由氮化硅膜106及114所构成。
搜索关键词: 驻极体 电容器
【主权项】:
1.一种驻极体电容器,其特征在于:包括:具有第一电极的第一膜,具有第二电极和驻极体膜的第二膜,在所述第一膜与所述第二膜之间形成的第一绝缘膜,以及除去所述第一绝缘膜的一部分而形成的空气隙;并且所述第一膜及所述第二膜的各自露出在所述空气隙的部分是由第二绝缘膜构成。
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