[发明专利]利用反射和荧光图像检查电路的系统和方法有效
| 申请号： | 200580006391.7 | 申请日： | 2005-01-27 |
| 公开（公告）号： | CN101014850A | 公开（公告）日： | 2007-08-08 |
| 发明（设计）人： | 埃米尔·诺伊;吉拉德·达瓦拉 | 申请（专利权）人： | 奥博泰克有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 吕晓章;李晓舒 |
| 地址： | 以色列*** | 国省代码： | 以色列;IL |
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| 摘要： | 一种用于检查电路的方法，包括：在第一时间间隔期间，通过在第一图像中检测从中反射的光来光学检查电路的至少一部分；根据在第二时间间隔期间获取的第二图像中的荧光，光学地检查从该电路的至少一部分发射的光；以及基于几何面一致指示而指示电路中的缺陷，其中这些几何一致指示来自通过检测从中反射的光而对电路至少一部分的光学检查、以及通过荧光对从该电路至少一部分发出的光的光学检查。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 反射 荧光 图像 检查 电路 系统 方法 | ||
【主权项】：
1、一种检查电路的方法，包括：在第一时间间隔期间，通过在第一图像中检测从中反射的光来光学检查电路的至少一部分；通过在第二时间间隔期间获取的第二图像中的荧光，光学地检查从所述电路的至少一部分发射的光；以及基于几何一致指示来指示所述电路中的缺陷，其中所述几何一致指示来自所述通过检测从中反射的光而对电路至少一部分的光学检查、以及所述通过荧光对从所述电路至少一部分发射的光的光学检查。
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