[发明专利]用于确定和/或监控过程变量的装置有效
| 申请号： | 200580006509.6 | 申请日： | 2005-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN101133304A | 公开（公告）日： | 2008-02-27 |
| 发明（设计）人： | 谢尔盖·洛帕京 | 申请（专利权）人： | 恩德莱斯和豪瑟尔两合公司 |
| 主分类号： | G01F23/296 | 分类号： | G01F23/296;H01L41/00 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 钟强;樊卫民 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于确定和/或监控介质的过程变量的装置。该装置包括：固定在薄膜(5)上的可振荡单元(1)；发送/接收单元(6)，其激励薄膜(5)和可振荡单元(1)振荡并接收可振荡单元(1)的振荡。发送/接收单元(6)是盘状的压电元件(15)。该装置还包括控制/分析单元(10)，其基于可振荡单元(1)的振荡监控和/或确定过程变量。根据本发明，盘状压电元件(15)具有基本上彼此反向极化的片段(18)，并且至少两个极性相反的电极(20)被施加至盘状压电元件(15)背离薄膜(5)的一侧(16)上。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 确定 监控 过程 变量 装置 | ||
【主权项】：
1.用于确定和/或监控介质的过程变量的装置，包括：固定在薄膜(5)上的可振荡单元(1)；发送/接收单元(6)，其激励薄膜(5)和可振荡单元(1)振荡并接收可振荡单元(1)的振荡，其中发送/接收单元(6)是盘状的压电元件(15)；和控制/分析单元(10)，其基于可振荡单元(1)的振荡监控和/或确定过程变量；其特征在于，盘状压电元件(15)具有被基本上彼此反向极化的至少两个片段(18)；并且至少两个极性相反的电极(20)被施加至盘状压电元件(15)背离薄膜(5)的一侧(16)上。
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