[发明专利]表面声波装置

摘要

一种表面声波装置，使得可以容易调节共振频率和中心频率，频率－温度性质优良，比例带宽宽，并且反共振阻抗高。该表面声波装置包括机电系数为15％或更高的LiTaO₃或LiNbO₃的压电基板(1)；至少一个电极，所述电极形成在压电基板(1)上并且是层压薄膜，所述层压薄膜具有由密度大于Al的金属或主要由该金属构成的合金的金属层作为主金属层，和层压在主金属层上由另一金属构成的金属层；和第一SiO₂层(2)，该层形成在除形成所述至少一个电极的区域以外的剩余区域中，并且具有约等于电极厚度的厚度。上述表面声波装置还包含密度为第一SiO₂层(2)密度的1.5倍或更高并且覆盖所述电极和第一SiO₂层(2)的第二SiO₂层(6)，和形成在第二SiO₂层(6)上的氮化硅化合物层(22)。

主权项

1.一种表面声波装置，包含：LiTaO3或LiNbO3的压电基板，所述压电基板的机电系数为15％或更高；至少一个电极，所述电极形成在压电基板上并且是层压体，所述层压体具有由密度大于Al密度的金属或主要由该金属构成的合金的金属层作为主金属层，和层压在主金属层上并且由另一金属构成的金属层；和第一SiO2层，该层形成在除形成所述至少一个电极的区域以外的剩余区域中，并且具有约等于电极厚度的厚度，其中所述电极的密度为第一SiO2层密度的1.5倍或更高，并且还提供为覆盖所述电极和第一SiO2层而形成的第二SiO2层，和形成在第二SiO2层上的氮化硅化合物层。