[发明专利]陀螺仪传感器和使用该陀螺仪传感器的传感器装置无效
| 申请号： | 200580006859.2 | 申请日： | 2005-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN1954188A | 公开（公告）日： | 2007-04-25 |
| 发明（设计）人： | 辻幸司;江田和夫;桐原昌男;西岛洋一;兵头聪 | 申请（专利权）人： | 松下电工株式会社 |
| 主分类号： | G01C19/56 | 分类号： | G01C19/56;G01P9/04 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 朱进桂 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 主基板(1)配置有：从动质量体(11)，该从动质量体(11)以沿与支撑基板(2)的表面相交的方向振动的方式被驱动；和探测质量体(12)，该探测质量体(12)通过驱动弹簧(13)与从动质量体(11)联接，并且适合在沿支撑基板(2)的平面中位移。沿从动质量体(11)和探测质量体(12)的布置方向延伸的两个探测弹簧(15)分别被连接到探测质量体(12)的相对侧；并且探测弹簧(15)的其它端通过联接部分(16)被连接在一起。 | ||
| 搜索关键词： | 陀螺仪 传感器 使用 装置 | ||
【主权项】：
1.一种陀螺仪传感器，包括：主基板，所述主基板由半导体基片形成，并设置有：探测质量体；从动质量体；和探测元件，通过一端被固定到所述支撑基板的探测弹簧，所述探测质量体在沿所述支撑基板的平面中相对于支撑基板被可位移地支撑；所述从动质量体通过驱动弹簧被连接到所述探测质量体，并且适合以沿与所述支撑基板相交的方向振动的方式被驱动；所述探测元件适合探测所述探测质量体在沿所述支撑基板的平面中的位移量；其中：所述探测弹簧在沿所述支撑基板的仅一个方向上从所述探测质量体延伸，以便以悬臂的方式相对于所述支撑基板支撑所述探测质量体。
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