[发明专利]光学表面形态的测量支撑装置无效
| 申请号： | 200580007613.7 | 申请日： | 2005-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN1977142A | 公开（公告）日： | 2007-06-06 |
| 发明（设计）人： | 弗朗索瓦·比吕斯;塞巴斯蒂安·朱利安 | 申请（专利权）人： | 萨热姆防务安全公司 |
| 主分类号： | G01B5/00 | 分类号： | G01B5/00;G01M11/02;B24B13/005 |
| 代理公司： | 上海新高专利商标代理有限公司 | 代理人： | 楼仙英 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 法国;FR |
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| 摘要： | 一种用于测量支撑光学元件(1)的光学表面(2)的形态的装置(5)，该装置包括一个上面支撑有所述元件(1)的测量支撑(6)，所述支撑(6)具有支承表面(10)，该支撑表面上支承所述元件(1)，其特征在于所述支承表面(10)属于一个弹性压缩的垫子(15，15')。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 表面 形态 测量 支撑 装置 | ||
【主权项】：
1.一种用于测量支撑光学元件(1)的光学表面(2)的形态的装置(5)，该装置包括一个具有支承表面(10)的测量支撑(6)，光学元件(1)能够被支承在该支撑表面上，其特征在于所述支承表面(10)属于一个可弹性压缩的垫子(15，15’)。
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