[发明专利]在平板玻璃上沉积氧化镓涂层的方法有效
| 申请号： | 200580007887.6 | 申请日： | 2005-02-23 |
| 公开（公告）号： | CN1930099A | 公开（公告）日： | 2007-03-14 |
| 发明（设计）人： | M·P·雷明顿;D·A·斯特里克勒;S·瓦拉纳西 | 申请（专利权）人： | 皮尔金顿北美公司 |
| 主分类号： | C03C17/00 | 分类号： | C03C17/00;C03C17/245;C03C17/34;C23C16/40 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 刘锴;段晓玲 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供了采用有机酯和无机卤化镓在玻璃衬底上敷设氧化镓涂层的化学气相沉积方法。所述有机酯优选含有3－6个碳原子，有助于获得高的沉积速率。所述形成氧化镓涂层的化学气相沉积方法优选基本处于大气压下。由于可以获得高的沉积速度，所以所得制品可以具有相当厚度的氧化镓涂层。本发明方法的涂层沉积速率优选大于或等于75/秒。 | ||
| 搜索关键词： | 平板玻璃 沉积 氧化 涂层 方法 | ||
【主权项】：
1、用于在热玻璃衬底上沉积氧化镓涂层的化学气相沉积方法，包括：制备用于形成氧化镓的含有无机卤化镓和有机酯的前体气体混合物；将所述前体气体混合物保持在比卤化镓反应形成氧化镓的温度低的温度，同时将该混合物传递到和热玻璃连通的涂覆室，和将前体气体混合物引入涂覆室，在此加热该混合物以通过结合来自有机源的氧而在热玻璃表面上沉积氧化镓。
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