[发明专利]正型感光性树脂组合物、使用该组合物的浮雕图形以及固体成象元件有效
| 申请号： | 200580007934.7 | 申请日： | 2005-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN1930522A | 公开（公告）日： | 2007-03-14 |
| 发明（设计）人： | 诹访充史;南桥克哉 | 申请（专利权）人： | 东丽株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G02B1/04;G03F7/023;G03F7/031;G03F7/037;G03F7/40;H01L21/027 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 孙秀武;吴娟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供在曝光前几乎不溶于碱显影液，如果曝光则容易溶解于碱显影液，并可以分辨微细图形，可用于光学元件并可以以高透明性和高折射率制成透镜形状的组合物。使用相对于(a)具有碱可溶性基团的聚合物100重量份，含有(b)吸收曝光波长的光，但是不因这种光而发生褪色的化合物1～30重量份；(c)醌二叠氮化合物1～50重量份；(d)选自铝化合物、硅化合物、锡化合物、钛化合物、锆化合物的至少一种并且粒子直径在1nm～30nm的无机粒子5～500重量份的正型感光性树脂组合物。 | ||
| 搜索关键词： | 感光性 树脂 组合 使用 浮雕 图形 以及 固体 成象 元件 | ||
【主权项】：
1.正型感光性树脂组合物，其特征是：相对于(a)具有碱可溶性基团的聚合物100重量份，含有(b)吸收曝光波长的光，但是不因该光而发生褪色的化合物1～30重量份；(c)醌二叠氮化合物1～50重量份；(d)选自铝化合物、硅化合物、锡化合物、钛化合物、锆化合物的至少一种并且粒子直径在1nm～30nm的无机粒子5～500重量份。
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