[发明专利]电离真空计无效
| 申请号： | 200580007960.X | 申请日： | 2005-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN1965219A | 公开（公告）日： | 2007-05-16 |
| 发明（设计）人： | 保罗·C·阿诺德;保罗·M·拉特 | 申请（专利权）人： | 布鲁克斯自动化有限公司 |
| 主分类号： | G01L21/32 | 分类号： | G01L21/32;H01J33/00;H01J41/00;H01J41/04 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 过晓东 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种用于将电子源与气体分子相隔离的电离真空计，所述的电离真空计包括用于产生电子的电子源，用于收集由于电子和气体分子的撞击而形成的离子的集电极，以及用于将电子源与气体分子相隔离的电子窗体。电离真空计能够带有限定极板空间的极板，以及可以将电子保留在极板区域内。电离真空计能够带有多个电子源和/或集电极。所述的集电极能够被安置在极板空间的内部或极板空间的外部。电离真空计能够带有质量过滤器，所述的质量过滤器用于基于质荷比分开离子。电离真空计可以是能够测量压力的Bayard－Alpert型或是能够测量气体类型的残余气体分析仪。 | ||
| 搜索关键词： | 电离 真空计 | ||
【主权项】：
1.一种电离真空计，包括：电子源，用于产生电子；集电极，用于收集由于电子和气体分子之间的撞击所形成的离子；以及电子窗体，用于将电子源与气体分子相隔离。
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