[发明专利]直线前进型研磨方法和装置有效
| 申请号： | 200580007988.3 | 申请日： | 2005-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN1929954A | 公开（公告）日： | 2007-03-14 |
| 发明（设计）人： | 安井平司 | 申请（专利权）人： | 独立行政法人科学技术振兴机构 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;B24B21/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 周国城 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 于旋转型研磨加工法方面，欲连续的将被加工对象送入装置或欲用有效的装置周围的空间是较难实现的。本发明是提供解决这些问题的新概念的直线前进型研磨加工法和装置。平行相邻的一组平行直线型工作台各自于相互相对方向上进行直线运动。于此工作台的二者上通过挤压被加工对象，对被加工对象施加供旋转运动而用的耦合力。通过被加工对象的旋转和进行直线运动的一组工作台间的相对运动，以研磨粒研磨被加工对象。也可采用通过被加工对象值持台上的皮带型抛光具以取代平面工作台。 | ||
| 搜索关键词： | 直线 前进 研磨 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种直线前进型研磨方法，是通过挤压被加工对象使于平行相邻而相互进行相反方向的直线运动的一组的平行平面工作台的二者上，对被加工对象施加供旋转运动而用的耦合力，通过被加工对象的旋转和进行直线运动的该一组工作台间的相对运动，以研磨粒研磨被加工对象而成。
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