[发明专利]真空抽吸单元无效
| 申请号： | 200580008375.1 | 申请日： | 2005-01-28 |
| 公开（公告）号： | CN1933943A | 公开（公告）日： | 2007-03-21 |
| 发明（设计）人： | 藤原辉彦 | 申请（专利权）人： | 株式会社小金井 |
| 主分类号： | B25J15/06 | 分类号： | B25J15/06;H01L21/68;H05K13/02;H05K13/08 |
| 代理公司： | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 余朦;方挺 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 可移动通道(14)与用于真空吸附工件(W)的抽吸器(13)相连。负压气体通过真空供给控制阀(15)而从真空供给源(11)供给至可移动通道(14)。真空供给控制阀(15)在以下两个位置之间进行切换：用于将负压气体供给至可移动通道(14)的抽吸位置，以及用于中断负压气体供给的息止位置。可移动通道(14)与用于检测可移动通道(14)中气体流动的流动传感器(29)相连。如果流动传感器(29)的检测值不高于指定的标准值，则确定工件(W)被吸附。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 抽吸 单元 | ||
【主权项】：
1.一种真空抽吸单元，其设置有用于真空固定工件的抽吸装置，所述单元包括：单元块，其设置有与所述抽吸装置相连的真空固定口，在所述单元块中形成有附接/分离流动通路；真空供给控制阀，其安装在所述单元块上，并工作在向所述附接/分离流动通路供给负压气体的状态以及停止所述供给的状态；真空截止控制阀，其安装在所述单元块中，并工作在向所述附接/分离流动通路供给正压气体的状态以及停止所述供给的状态；以及流量传感器，其安装在所述单元块上，并检测所述附接/分离流动通路中流动的气体的流量，其中，通过所述附接/分离流动通路内的气体流量来判断所述工件在所述抽吸装置上的真空固定情况。
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