[发明专利]用于低温泵的阀门组件有效
申请号: | 200580008892.9 | 申请日: | 2005-03-11 |
公开(公告)号: | CN1934356A | 公开(公告)日: | 2007-03-21 |
发明(设计)人: | 阿伦·J·巴利特;加里·S·阿什;布赖恩·汤普森;马克·A·斯蒂尔 | 申请(专利权)人: | 布鲁克斯自动化有限公司 |
主分类号: | F04B37/08 | 分类号: | F04B37/08 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人: | 过晓东 |
地址: | 美国马*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 单一的管道阀门组件提供集成的低温泵阀门,该低温泵阀门具有通过同轴连接器将组件与低温泵连接起来的放气阀端口,所述同轴连接器具有内管和外管。高压气体接口通过内管把高压气体来源与低温泵连接起来。低真空阀门端口能把该组件的外管与低真空真空泵连接起来;而且安全阀端口能把该组件的外管与排气烟囱连接起来。 | ||
搜索关键词: | 用于 低温泵 阀门 组件 | ||
【主权项】:
1.一种有集成的管道阀门组件的低温泵,所述阀门组件包括:有低温泵接口的组件壳体;在所述接口处与所述组件的内管和外管连接的同轴连接器;把外管与排气装置连接起来的排气阀;以及通过内管把高压气体来源与低温泵连接起来的放气阀。
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