[发明专利]负型感放射线性树脂组合物无效
| 申请号： | 200580009059.6 | 申请日： | 2005-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN1934497A | 公开（公告）日： | 2007-03-21 |
| 发明（设计）人： | 西川耕二;木村徹;岩永伸一郎 | 申请（专利权）人： | 捷时雅株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/033 | 分类号： | G03F7/033;G03F7/004;G03F7/40;H01L21/027 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 包于俊 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的课题是提供可以精度良好地形成凸缘或布线等厚膜的镀制成形物的制造方法，适用于该制造方法的感度、析像度等良好的负型感放射线性树脂组合物，以及使用该组合物的转印膜。制造了含有(A)具有下述通式(1)及/或(2)所示结构单元的聚合物、(B)具有至少1个乙烯性不饱和双键的化合物以及(C)感放射线性自由基聚合引发剂的负型感放射线性树脂组合物，以及使用该组合物的负型感放射线性树脂组合物。 | ||
| 搜索关键词： | 负型感 放射 线性 树脂 组合 | ||
【主权项】：
1.负型感放射线性树脂组合物，其特征在于，含有(A)具有下述通式(1)及/或(2)所示结构单元的聚合物、(B)具有至少1个乙烯性不饱和双键的化合物，以及(C)感放射线性自由基聚合引发剂，![]()
式中，R1为氢原子或甲基，R2为-(CH2)n、n为0～3的整数，R3为碳原子数1～4的烷基，m为0～4的整数。
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