[发明专利]正型感放射线性树脂组合物无效
| 申请号： | 200580009064.7 | 申请日： | 2005-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN1934499A | 公开（公告）日： | 2007-03-21 |
| 发明（设计）人： | 西川耕二;岩永伸一郎 | 申请（专利权）人： | 捷时雅株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/039 | 分类号： | G03F7/039;C08F220/58;G03F7/033;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/60 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 沙永生 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的课题是提供可以良好的精度形成凸点或配线等厚膜的镀制造型物的制造方法，适用于该制造方法的灵敏度和析像度等良好的正型感放射线性树脂组合物，以及使用了该组合物的转印膜。解决上述课题的手段是制造包含(A)含有以下的通式(1)及/或(2)表示的结构单元(a)和酸解离性官能团(b)的聚合物、(B)通过放射线的照射而产酸的成分及(C)有机溶剂的正型感放射线性树脂组合物，以及使用了该组合物的正型感放射线性树脂膜。 | ||
| 搜索关键词： | 正型感 放射 线性 树脂 组合 | ||
【主权项】：
1.正型感放射线性树脂组合物，其特征在于，包含(A)含有以下的通式(1)及/或(2)表示的结构单元(a)和酸解离性官能团(b)的聚合物，(B)通过放射线的照射而产酸的成分，以及(C)有机溶剂，![]()
式中，R1为氢原子或甲基，R2为-(CH2)n-，n为0～3的整数，R3为碳原子数1～4的烷基，m为0～4的整数。
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