[发明专利]光敏性绝缘膏体组合物和相应的光敏性膜无效
申请号: | 200580009109.0 | 申请日: | 2005-03-14 |
公开(公告)号: | CN1934496A | 公开(公告)日: | 2007-03-21 |
发明(设计)人: | 押尾公德;水泽龙马;熊泽明;节田齐;带谷洋之 | 申请(专利权)人: | 东京应化工业株式会社 |
主分类号: | G03F7/004 | 分类号: | G03F7/004 |
代理公司: | 上海新高专利商标代理有限公司 | 代理人: | 楼仙英 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 一种光敏性绝缘膏体组合物,能在碱性显影剂或水中显影,可用于形成厚而仍然高度感光的膜层,从而可形成高精密度的图案。所述光敏性绝缘组合物含有一种有机组分和一种无机粉末,所述有机组分包括(A)水溶性纤维素衍生物,(B)含羟基的分子量为20000或更低的丙烯酸树脂,(C)光聚合单体,和(D)光聚合引发剂。 | ||
搜索关键词: | 光敏 绝缘 组合 相应 | ||
【主权项】:
1、一种光敏性绝缘膏体组合物,包含一种有机组分以及一种无机粉末,其中所述有机组分包括(A)水溶性纤维素衍生物,(B)含羟基的分子量为20000或更低的丙烯酸树脂,(C)光聚合单体,和(D)光聚合引发剂。
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