[发明专利]涂覆装置、涂覆方法以及由此所得显示部件无效
申请号: | 200580009576.3 | 申请日: | 2005-03-17 |
公开(公告)号: | CN1933920A | 公开(公告)日: | 2007-03-21 |
发明(设计)人: | 梶野佳范;小林裕史;铃木哲男;久保善彦;和田修 | 申请(专利权)人: | 东丽株式会社 |
主分类号: | B05C5/02 | 分类号: | B05C5/02;B05C11/00;B05D1/26;B05D3/00 |
代理公司: | 北京市中咨律师事务所 | 代理人: | 段承恩;杨光军 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 提供一种不仅可抑制吐出波动,得到膜厚均匀性良好的薄膜涂膜,而且吐出应答性优良的涂覆方法以及涂覆装置。在涂液供给装置(例如液压泵3)到涂覆装置(例如喷嘴6)之间,设置缓冲吐出波动的部件(部位5)。由液压泵产生的吐出波动,利用配置于波动缓冲部位5的内部的缓冲波动的部件5a的体积变动而被缓冲,从而从墨菊喷嘴得到被抑制了波动的定量吐出。 | ||
搜索关键词: | 装置 方法 以及 由此 所得 显示 部件 | ||
【主权项】:
1.一种涂覆装置,它是至少具有涂液供给装置和将涂液涂覆于基体材料的涂覆装置,它们通过输液管线连接,将涂液涂覆于基体材料的涂覆装置,其特征在于,在由该涂液供给装置产生的压力所到达的任意地方,配置缓冲吐出波动的部件,上述缓冲波动的部件,是至少由封入内部的气体和封入该气体的材料构成的部件。
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