[发明专利]氧化铟－氧化锌－氧化镁类溅射靶及透明导电膜有效
| 申请号： | 200580009752.3 | 申请日： | 2005-02-23 |
| 公开（公告）号： | CN101124348A | 公开（公告）日： | 2008-02-13 |
| 发明（设计）人： | 井上一吉;松原雅人;笘井重和;岛根幸朗 | 申请（专利权）人： | 出光兴产株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/08;G02F1/1343;H01L21/285;H01L21/70 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 朱丹 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种在溅射时不会产生节结的靶。另外，还提供蚀刻性优良并且特别是在400～450nm区域的透明性方面优良的非晶态透明导电膜。是含有氧化铟、氧化锌、氧化镁的溅射靶，该溅射靶在溅射时不会产生节结。另外，是含有氧化铟、氧化锌、氧化镁的非晶态透明导电膜，该非晶态透明导电膜在蚀刻性方面优良，并且400～450nm区域的光线透过率高。 | ||
| 搜索关键词： | 氧化 氧化锌 氧化镁 溅射 透明 导电 | ||
【主权项】：
1.一种溅射靶，其特征是，含有氧化铟、氧化锌和氧化镁。
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