[发明专利]衬底中的特征及其形成方法有效
| 申请号： | 200580010115.8 | 申请日： | 2005-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN1938158A | 公开（公告）日： | 2007-03-28 |
| 发明（设计）人： | L·小克拉克;C·阿肖夫;C·G·阿丁顿 | 申请（专利权）人： | 惠普开发有限公司 |
| 主分类号： | B41J2/14 | 分类号： | B41J2/14;B41J2/16 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 杨松龄 |
| 地址： | 美国德*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 所述的实施例涉及衬底(300)中的特征(905)以及形成该特征的方法。一个示范性实施例可以是微型器件，其包括在第一衬底面(302)与大致相对的第二衬底面(303)之间延伸的衬底(300)，以及沿着孔轴线而形成于第一表面(302)中的至少一个特征(905)，所述孔轴线并不横向于第一表面(302)。 | ||
| 搜索关键词： | 衬底 中的 特征 及其 形成 方法 | ||
【主权项】：
1.一种微型器件，包括：在第一衬底面(302)与大致相对的第二衬底面(303)之间延伸的衬底(300)；和沿着孔轴线形成于所述衬底(300)中的至少一个特征(905)，所述孔轴线不横向于所述第一表面(302)，并且不平行于所述第一表面(302)。
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