[发明专利]在基材上形成金属图案的方法有效
| 申请号： | 200580010818.0 | 申请日： | 2005-02-03 |
| 公开（公告）号： | CN1957298A | 公开（公告）日： | 2007-05-02 |
| 发明（设计）人： | 凯尔·鲍德温;约翰·甘耶伊;埃尔克·科图尔 | 申请（专利权）人： | 麦克德米德有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京三幸商标专利事务所 | 代理人： | 刘激扬 |
| 地址： | 美国康*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及一种在基材上提供两种不同光可成像膜组合物，特别是两种不同干膜组合物的方法。所选择的两种光可成像膜组合物各自具有不同的显影速度和/或固化速度以使显影后，光可成像膜顶层悬垂于光可成像膜底层之上。随后将金属层沉积在基材表面上。该悬垂使光可成像膜层得以去除干净，而对随后施加的金属层没有损害，因为该悬垂防止了金属层沿基材与光可成像膜层的界面与光可成像膜层密切接触。 | ||
| 搜索关键词： | 基材 形成 金属 图案 方法 | ||
【主权项】：
1.一种在基材上形成金属图案的方法，包括以下步骤：a)在所述基材上设置第一光可成像膜；b)设置第二光可成像膜直接覆盖第一光可成像膜；c)将所需金属图案的负片图像置于第二光可成像膜上并且使第一光可成像膜和第二光可成像膜对光化辐射曝光；d)将第一光可成像膜和第二光可成像膜的未固化区域显影脱离以在所述基材上形成图像；e)将金属沉积在所述基材上；以及f)将第一光可成像膜和第二光可成像膜从所述基材上剥离以使所述金属图案留在所述基材上。
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