[发明专利]用于温度控制的方法和装置

摘要

本发明公开了一种用于控制衬底温度的装置，该装置包括衬底台和布置在衬底台中并且与衬底台的热表面进行热交换的热组件。热组件包括承载传热流体的通道。该装置还包括流体热单元，流体热单元包括被构造和布置为将传热流体的温度控制在第一温度的第一流体单元、被构造和布置为将传热流体的温度控制在第二温度的第二流体单元以及与热组件的通道以及第一和第二流体单元流体连通的出口流控制单元。出口流控制单元被配置为向通道提供受控传热流体，受控传热流体包括具有第一温度的传热流体、具有第二温度的传热流体或其组合中的至少一种。

主权项

1.一种用于控制衬底温度的装置，所述衬底具有下表面和对其执行衬底处理的上表面，所述装置包括：具有支持所述衬底的下表面的热表面的衬底台；布置在所述衬底台中并且与所述热表面进行热交换的热组件，所述热组件包括承载传热流体的通道；以及被构造和布置为调整所述传热流体的温度的流体热单元，所述流体热单元包括：被构造和布置为将所述传热流体的温度控制在第一温度的第一流体单元；被构造和布置为将所述传热流体的温度控制在第二温度的第二流体单元；以及与所述热组件的通道以及所述第一和第二流体单元流体连通的出口流控制单元，所述出口流控制单元被构造和布置为向所述通道提供受控传热流体，所述受控传热流体包括具有第一温度的传热流体、具有第二温度的传热流体或其组合中的至少一种。