[发明专利]电子束位置变动测定方法、电子束位置变动测定装置以及电子束记录装置无效
| 申请号： | 200580011820.X | 申请日： | 2005-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN1942829A | 公开（公告）日： | 2007-04-04 |
| 发明（设计）人： | 小岛良明 | 申请（专利权）人： | 日本先锋公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G11B9/10;H01J37/04;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 黄纶伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 在电子束记录装置的记录之前进行的射束位置变动的测定时，能够进行稳定且准确的变动量的测定。在记录之前测定射束点(Ep)的位置变动的测定装置(10)，具备：刀口(11)，其配置在射束点(Ep)的照射位置；检测单元(法拉第杯(12)等)，其检测通过刀口(11)照射的电子束(E)；滤波器单元(高截止滤波器(14)等)，其从该检测单元的输出中除去测定对象的变动频率成分；以及控制单元(15)，其根据该滤波器单元的输出，控制电子束(E)的基准位置，使得射束点(Ep)的中心位于刀口(11)的末端位置，测定装置(10)根据射束点(Ep)的中心从刀口(11)的末端偏离时的检测单元的输出变化，测定射束点(Ep)的位置变动。 | ||
| 搜索关键词： | 电子束 位置 变动 测定 方法 装置 以及 记录 | ||
【主权项】：
1.一种电子束位置变动测定方法，其特征在于，针对使电子束的射束点在记录面上会聚、并在该记录面上形成记录图案的电子束记录装置，在所述射束点的照射位置处配置刀口，检测通过该刀口照射的电子束，根据所述射束点的中心从所述刀口的前端偏离时的检测电流的变化，测定所述射束点的位置变动时，在所述测定中控制所述电子束的基准位置，使得所述射束点的中心位于所述刀口的前端位置。
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