[发明专利]利用弹簧和平衡重的具有往复旋转运动的晶片扫描系统

摘要

本发明的目的在于加工工件的扫描设备和方法，其中扫描设备包含彼此固定耦合的晶片臂和移动臂，其中晶片臂和移动臂可以操作用来绕着第一轴旋转。末端执行器耦合至晶片臂，工件位于该末端执行器上。旋转传动轴使晶片臂和移动臂耦合至第一致动器，其中第一致动器向传动轴提供旋转力。动量平衡机构耦合至传动轴并且可以操作用来通常使传动轴的旋转方向反转。动量平衡机构包括一个或多个固定弹簧元件，所述的固定弹簧元件可以操作用来向耦合至移动臂的移动弹簧元件提供力。控制器还可以操作用来在预定的扫描范围内保持末端执行器的通常恒定的平移速度。

主权项

1.一种相对于离子束扫描工件的扫描设备，所述扫描设备包含：基座部分；传动轴，所述传动轴旋转耦合至所述基座部分；动量平衡机构，所述动量平衡机构包含一个或多个固定弹簧元件；晶片臂，所述晶片臂耦合至所述传动轴，其中所述晶片臂还包含操作耦合到其上的末端执行器，所述工件通常位于所述末端执行器上；移动臂，所述移动臂耦合至所述传动轴，其中所述移动臂相对于所述晶片臂通常是固定的，并且其中所述移动臂还包含操作耦合到其上的移动弹簧元件，其中所述移动弹簧元件与所述一个或多个固定弹簧元件之间的力可以操作用来通常排斥所述移动弹簧元件使之远离所述一个或多个固定弹簧元件，其中所述末端执行器可以操作用来沿着第一扫描路径平移。