[发明专利]发光体，及使用其的电子射线检测器、扫描型电子显微镜和质量分析装置

摘要

本发明提供一种应答速度快并且发光强度高的发光体，使用该发光体的电子射线检测器，扫描型电子显微镜以及质量分析装置。在本发明的发光体(10)中，形成在基板(12)的一个面(12a)上的氮化物半导体层(14)因电子入射发出荧光，至少该荧光的一部分透过基板(12)，从基板的另一个面(12b)射出荧光。该荧光的应答速度在μsec量级以下。另外，该荧光的发光强度，具有与已有的P47荧光体相同程度的强度。即，该发光体(10)，具有适应扫描型电子显微镜和质量分析装置的充分的应答速度以及发光强度。而且，由于覆盖层(16)有利于提高氮化物半导体层(14)中的发光残存率，所以，该发光体(10)不仅实现高速应答以及高发光强度，还具有优异的残存率。

主权项

1.一种发光体，该发光体与电子的入射相对应发生荧光，其特征在于，包括：基板，具有形成在所述基板一个面上的量子井结构的氮化物半导体层，和具有形成在所述氮化物半导体层上的电子入射面的覆盖层。