[发明专利]在基于场效应晶体管的气体传感器中测量气体和/或最小化横向灵敏度的方法有效
| 申请号： | 200580012498.2 | 申请日： | 2005-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN1973201A | 公开（公告）日： | 2007-05-30 |
| 发明（设计）人： | 马克西米里安·弗莱舍;乌韦·兰普;汉斯·梅科斯尼尔;罗兰德·普勒;阿尔弗雷德·希门 | 申请（专利权）人： | 迈克纳斯公司 |
| 主分类号： | G01N27/414 | 分类号： | G01N27/414 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 赵科 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 一种用于在基于FET的气体传感器中测量气体的方法，该气体传感器的传感器信号通过敏感层上的逸出功的变化产生，其中除了读取所述逸出功变化之外还分析该敏感层的电容变化。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 场效应 晶体管 气体 传感器 测量 最小化 横向 灵敏度 方法 | ||
【主权项】：
1.用于在基于FET并具有悬浮栅极的气体传感器中测量气体的方法，其特征在于，对敏感层的电容变化进行分析。
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