[发明专利]光刻用冲洗液无效
| 申请号： | 200580012689.9 | 申请日： | 2005-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN1947066A | 公开（公告）日： | 2007-04-11 |
| 发明（设计）人： | 越山淳;胁屋和正;金子文武;宫本敦史;田岛秀和;泽田佳宏 | 申请（专利权）人： | 东京应化工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/32 | 分类号： | G03F7/32;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 张平元;赵仁临 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明是提供一种可将接触角40度以下的容易润湿的抗蚀图案表面改质成接触角70度以上，可有效防止图案崩溃，制造高品质制品的新颖冲洗液。该冲洗液包含下述溶液，所述溶液含有选自通式(I)(式中的R1及R2是各自氢原子的一部分或全部被氟原子取代的碳原子数为1～5的烷基或取代烷基，R1与R2可以相互连接并与和两者结合的SO2及N一同形成五员环或六员环)、通式(II)(式中的Rf是氢原子的一部分或全部被氟原子取代的碳数1～5的烷基或取代烷基，m及n是整数2或3)、或通式Rf’－COOH(式中的Rf’是碳数8～20且至少一部分被氟化的烷基)表示的水或醇溶剂可溶性氟化合物中的至少一种。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 冲洗 | ||
【主权项】：
1.一种光刻用冲洗液，其包含下述溶液，所述溶液含有选自通式[化学式1](式中的R1及R2是各自氢原子的一部分或全部被氟原子取代的碳原子数为1～5的烷基或取代烷基，R1与R2可以相互连接并和与两者结合的SO2及N一同形成五员环或六员环)、通式[化学式2](式中的Rf是氢原子的一部分或全部被氟原子取代的碳原子数为1～5的烷基或取代烷基，m及n是整数2或3)、或通式Rf’-COOH (式中的Rf’是碳原子数为8～20且至少部分被氟化的烷基)表示的水或醇类溶剂可溶性氟化合物中的至少一种。
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