[发明专利]用于形成微结构的装置和方法无效
| 申请号： | 200580012801.9 | 申请日： | 2005-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN1946514A | 公开（公告）日： | 2007-04-11 |
| 发明（设计）人： | 海因里希·奥斯藤达普 | 申请（专利权）人： | 肖特股份公司 |
| 主分类号： | B23Q1/58 | 分类号： | B23Q1/58;B23Q1/34;B23Q5/027 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 党晓林;徐敏刚 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于形成微结构的装置和方法，该装置包括：主轴，该主轴被驱动以绕主轴轴线旋转，在该主轴上设有用于夹持工件的壳体；以及致动器(30)，该致动器具有快速驱动器(36)，特别是压电驱动器，用于使刀具(32)沿基本上垂直于工件表面的方向快速运动，从而所述致动器(30)可通过另一驱动器(24)定位，用于沿着工件表面产生沿第一方向的线性运动，以进行加工(24)。所述快速驱动器(36)通过引导装置(38)与刀具(32)连接，该引导装置抵抗回复力的作用允许刀具(32)沿所述快速驱动器(36)的轴向方向进行调节，并在垂直于所述方向的平面中呈现很高的刚性。所应用的控制技术允许利用动态系统特性精密且可重现地形成微结构。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 形成 微结构 装置 方法 | ||
【主权项】：
1、一种用于通过主轴(12)形成微结构的装置，所述主轴适于被驱动以绕其纵向轴线(25)旋转并设有用于夹持工件(16)的夹具，该装置具有设有快速驱动器(36)的致动器(30)，该快速驱动器适于使刀具(32)沿大致垂直于工件表面的方向快速运动，该致动器(30)可沿工件表面定位以借助适于产生沿第一方向(x)的线性进给运动的附加驱动器(24)工作，所述装置的特征在于，所述快速驱动器(36)通过引导装置(38)与所述刀具(32)连接，该引导装置抵抗回复力的作用使刀具(32)沿所述快速驱动器(36)的轴向方向进给，并且在垂直于所述方向的平面中具有很高的刚性。
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