[发明专利]中和器无效

专利信息
申请号: 200580013030.5 申请日: 2005-01-24
公开(公告)号: CN1946870A 公开(公告)日: 2007-04-11
发明(设计)人: 小室弘之;泷本昌行;布施丰;阿部辰弥;青名端一仁 申请(专利权)人: 株式会社昭和真空
主分类号: C23C14/24 分类号: C23C14/24
代理公司: 中原信达知识产权代理有限责任公司 代理人: 田军锋;王爱华
地址: 日本神*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明以低成本且高维护性的构成提供一种中和器,即使电极热膨胀也不会变形及破损。该中和器具有丝极、使电流流过该丝极的一对电极、及在绝缘状态下支承一对电极的基座,其中,该中和器构成为具有如下的保持装置:将一对电极和基座在相对位置至少在一方向上可以变动的状态下保持。
搜索关键词: 中和
【主权项】:
1.一种中和器,其具有丝极、使电流流过该丝极的一对电极、及在绝缘状态下支承该一对电极的基座,其特征在于,该中和器具有将该一对电极和该基座在相对位置至少在一方向上可以变动的状态下保持的保持装置。
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