[发明专利]具有冷却装置的装置及冷却方法无效
| 申请号： | 200580013068.2 | 申请日： | 2005-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN1946871A | 公开（公告）日： | 2007-04-11 |
| 发明（设计）人： | 泷本昌行;布施丰;阿部辰弥;小室弘之;青名端一仁 | 申请（专利权）人： | 株式会社昭和真空 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;F25D17/02 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 田军锋;王爱华 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 在真空蒸镀等成膜中使用的真空槽的致冷剂路径的构成中，通过减少冷却管的使用量缩短施工期间，通过缩短致冷剂路径抑制致冷剂流量的下降，其中，在包括被槽壁覆盖的槽、配置在槽内部的内部机构或配置在槽外部的外部机构、和用于冷却内部机构或外部机构的至少一个以上的致冷剂路径的装置中，其构成为，致冷剂路径的至少一部分形成槽壁的一部分。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 冷却 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种装置，包括由被槽壁覆盖的槽、配置在所述槽内部的内部机构或配置在所述槽外部的外部机构、和用于冷却所述内部机构或所述外部机构的至少一个以上的致冷剂路径，该装置的特征在于，所述致冷剂路径的至少一部分形成所述槽壁的一部分。
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