[发明专利]片剥离装置及剥离方法

摘要

本发明的剥离装置(10)具有对粘贴有片(S)的晶片(W)进行支承的剥离用台(11)和配置在该剥离用台(11)上方的片剥离单元(12)，使该片剥离单元(12)和剥离用台(11)相对移动而可剥离片(S)，其中具有剥离用带(PT)的支承辊(20)、使剥离用带(PT)与片(S)的面粘接的第一及第二辊(30、31)、和剥离用带(PT)的卷绕辊(21)。以在形成于第二辊(31)与片(S)间的间隙(C)中弯折剥离用带(PT)地形成初期剥离角度(α1)的状态进行剥离，而后以对应于第二辊(31)的直径的后期剥离角度(α2)剥离片(S)。

主权项

1.一种片剥离装置，具有：支承粘贴有片的剥离对象物的剥离用台、和设置成能够沿剥离对象物的面相对移动的片剥离单元；能够通过将从该片剥离单元输出的剥离用带与片粘接并进行卷绕而剥离该片，其特征在于，所述剥离单元具有：剥离用带的供给部、剥离用带的卷绕部、和位于所述供给部及卷绕部之间的剥离头，所述剥离头能够在所述剥离对象物的端部位置向翻转的方向弯折剥离用带，并形成使剥离方向沿着剥离对象物的面的初期剥离角度，另一方面，在卷绕所述弯折的剥离用带时形成比初期剥离角度小的后期剥离角度而剥离所述片。