[发明专利]有机材料用蒸发源及有机蒸镀装置无效
| 申请号： | 200580013553.X | 申请日： | 2005-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN1950536A | 公开（公告）日： | 2007-04-18 |
| 发明（设计）人： | 根岸敏夫;越田达彦;羽根功二;中村寿充 | 申请（专利权）人： | 株式会社爱发科 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/12;C23C14/26;H05B33/10;H05B33/14 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 温大鹏 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种可对大型基板进行膜厚分布均匀的成膜、并可准确且响应性良好地进行蒸镀时加热温度和蒸发速度的控制的有机材料用蒸发源及采用该蒸发源的有机蒸镀装置。本发明的蒸发源具有容器主体部(31a)和盖部(31b)，所述容器主体部具有由高频感应线圈(50)构成的加热部，并用于容纳既定的有机材料，所述盖部具有用于使该有机材料的蒸气通过的蒸发口(31c)。从盖部(31b)的蒸发口(31c)放出的有机材料的蒸气量，就二维位置而言，以既定的基准位置为基准呈逐渐扩展状增加。 | ||
| 搜索关键词： | 有机 材料 蒸发 装置 | ||
【主权项】：
1.一种有机材料用蒸发源，其特征在于，具有容器主体部和盖部，所述容器主体部具有由高频感应线圈构成的加热部，并用于容纳既定的有机材料，所述盖部具有用于使该有机材料的蒸气通过的蒸发口，从上述蒸发口放出的有机材料的蒸气量，就二维位置而言，以既定的基准位置为基准呈逐渐扩展状增加。
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