[发明专利]移动体位置控制装置及使用该控制装置的载物台装置

摘要

移动体位置控制装置(60)具有坐标变换块(70)、用来反馈控制Y1线性马达(20A)的并进方向控制系统(80)、用来反馈控制Y2线性马达(20B)的偏转方向控制系统(90)、和推力非干涉化块(100)。即使对并进方向控制系统(80)、偏转方向控制系统(90)输入了并进方向干扰(d₁)、旋转方向干扰(d₂)，由于通过并进干扰观测器(82)及旋转干扰观测器(92)将推测干扰成分从Y方向并进推力指令值(u_y)、θ方向推力指令值(u_θ)中除去，所以线性马达(20A、20B)能够不受干扰的影响产生驱动力(F₁、F₂)。

主权项

1、一种移动体位置控制装置，根据来自对移动体的两端附近的移动位置进行检测的一对位置检测器的检测信号，对驱动上述移动体的两端附近的一对驱动机构进行控制，其特征在于，具备：并进控制机构，控制上述一对驱动机构，使得：在上述移动体的移动速度因干扰而变动了的情况下，以上述一对驱动机构的驱动力抑制上述移动体的并进动作的差的方式产生驱动力，并且基于上述一对位置检测器的两检测位置一致；和旋转控制机构，控制上述一对驱动机构，使得：在上述移动体的移动速度因干扰而变动、上述移动体在旋转方向上位移了的情况下，以上述一对驱动机构的驱动力抑制上述移动体的旋转动作的方式产生驱动力，并且上述移动体相对于移动方向不倾斜。