[发明专利]用于MEMS开关的梁无效
| 申请号： | 200580014246.3 | 申请日： | 2005-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN1950290A | 公开（公告）日： | 2007-04-18 |
| 发明（设计）人： | T－K·周;约翰·赫克 | 申请（专利权）人： | 英特尔公司 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;H01H1/00 |
| 代理公司： | 北京嘉和天工知识产权代理事务所 | 代理人： | 严慎 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 悬臂梁式射频微机电开关可以由具有金属接触体的低应力梯度多晶硅形成。在一些实施方案中，所述梁和所述衬底之间的区域可以是无电介质的。在一些情况下，氧化物层可以由氮化物保护层来保护。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 mems 开关 | ||
【主权项】：
1.一种方法，包括：形成具有悬臂梁的微机电系统开关，所述悬臂梁包括附接到金属接触体的低应力梯度多晶硅部分。
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