[发明专利]图案形成材料、图案形成设备和图案形成方法有效
| 申请号： | 200580014721.7 | 申请日： | 2005-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN1950750A | 公开（公告）日： | 2007-04-18 |
| 发明（设计）人： | 佐藤守正;田代朋子;高岛正伸;芹泽慎一郎 | 申请（专利权）人： | 富士胶片株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 陈平 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的目的是提供能有效地抑制光敏层的感光度下降和能形成高度精细精确图案的图案形成材料、配备该图案形成材料的图案形成设备和使用所述图案形成材料的图案形成方法。为了达到该目的，提供一种图案形成材料，包含载体和载体上的光敏层，其中光敏层包含阻聚剂、粘合剂、可聚合化合物和光聚合引发剂，光敏层利用激光束曝光，利用显影剂显影，形成图案，显影后产生厚度与曝光前的光敏层厚度基本相同的光敏层所需的最小激光束能量为0.1～10mJ/cm2。 | ||
| 搜索关键词： | 图案 形成 材料 设备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种图案形成材料，所述图案形成材料包含：载体，和载体上的光敏层，其中所述光敏层包含阻聚剂、粘合剂、可聚合化合物、和光聚合引发剂，所述光敏层利用激光束曝光并利用显影剂显影以形成图案，和最小激光束能量为0.1～10mJ/cm2，所述最小激光束能量是显影后产生厚度与曝光前的光敏层厚度基本相同的光敏层所需的最小激光束能量。
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