[发明专利]具有导电部分的固定环无效
| 申请号： | 200580015336.4 | 申请日： | 2005-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN101022920A | 公开（公告）日： | 2007-08-22 |
| 发明（设计）人： | 安托尼·P·马内斯;瑟瑞司·施诺提;阿勒恩·杜巴斯特;焱·王;陈良毓;刘凤全;保尔·D·巴特菲尔德;拉什德·马列夫 | 申请（专利权）人： | 应用材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 徐金国;梁挥 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明公开一种用于电化学机械工艺的固定环。该固定环具有一通常为环状的主体，其由一导电部分和一非导电部分形成。该非导电部分在研磨期间接触该基板。该导电部分在研磨期间经电性偏压以减少在公知电化学机械工艺系统中倾向于产生的边缘效应。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 导电 部分 固定 | ||
【主权项】：
1.一种用于电化学机械工艺的固定环，包含：一导电部分，具有一上表面及一下表面；以及一基板接触部分，形成内径表面的至少一部分，该基板接触部分由一种绝缘材料形成，并且设置为在一研磨工艺期间接触一研磨表面。
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