[发明专利]振动阻尼器或隔离器无效
| 申请号： | 200580015473.8 | 申请日： | 2005-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN1954266A | 公开（公告）日： | 2007-04-25 |
| 发明（设计）人： | H·J·A·范德桑德;H·G·J·J·A·弗鲁门 | 申请（专利权）人： | 皇家飞利浦电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 蔡民军;廖凌玲 |
| 地址： | 荷兰艾*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于例如半导体的生产的系统，包括具有密封的内部空间(11)的室(10)，例如真空室。在真空室中布置有诸如台子的重质量(14)，该重质量由一个或多个振动阻尼器或隔离器(15)支承或承载。每个振动隔离器都包括具有延伸到室(10)的密封空间中的开口内端部的中空或管状件(18)。在中空件的内端部处布置有用于支承质量或台子(14)的支承结构(21)。波纹管(24)的相对端部分别与中空件(18)和支承结构(21)密封地连接，以便从室(10)的内部空间(11)密封中空件(18)的内部空间(26)。支承结构的表面部分暴露于与室的密封内部空间的气压不同的气压，以便至少部分地平衡支承结构(21)及其支承的质量或有效负荷(14)的重量。 | ||
| 搜索关键词： | 振动 阻尼 隔离器 | ||
【主权项】：
1.一种系统，包括限定有密封的内部空间(11)的室(10)和用于支承布置在所述空间中的质量或有效负荷(14)的至少一个振动阻尼器或隔离器(15)，所述振动阻尼器包括：-具有延伸到所述室的密封空间中的开口内端部的中空件(18)，-用于支承所述质量的支承结构(21)，-波纹管(24)，其相对端分别与所述中空件和支承结构密封地连接，以将所述中空件的内部空间(26)从所述室的内部空间密封开，以及-装置(20)，该装置用于将所述支承结构的表面部分暴露到不同于所述室的密封内部空间的气压的气压，以至少部分地平衡支承结构及其支承的所述质量的重量。
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