[发明专利]正型感光树脂组合物以及由其获得的层间绝缘膜和微透镜有效
| 申请号： | 200580015922.9 | 申请日： | 2005-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN1954264A | 公开（公告）日： | 2007-04-25 |
| 发明（设计）人： | 饭沼洋介;辻新祐;畑中真 | 申请（专利权）人： | 日产化学工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/022 | 分类号： | G03F7/022;G03F7/004;G03F7/023;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 | 代理人： | 段承恩;田欣 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的课题在于提供一种不产生异物、不降低透明性、膜残留率等其他特性、高灵敏度的正型感光树脂组合物，提供由该正型感光树脂组合物获得的层间绝缘膜和微透镜。本发明通过提供下述组合物而解决了上述课题，即，一种正型感光树脂组合物，其特征在于，含有下述(A)成分、(B)成分和溶剂，(A)成分：选自以不饱和羧酸及其衍生物中的至少1种作为必要单体进行共聚而成的聚合物中的至少1种碱可溶性树脂；(B)成分：式(1)所示的1，2－醌二叠氮化物，式中，D1～D3分别独立地表示氢原子或具有1，2－醌二叠氮基的有机基团，其中，D1～D3中的至少1个是具有1，2－醌二叠氮基的有机基团，另外，n表示1～3的整数，R表示1价的有机基团。 | ||
| 搜索关键词： | 感光 树脂 组合 以及 获得 绝缘 透镜 | ||
【主权项】：
1.一种正型感光树脂组合物，其特征在于，含有下述(A)成分、(B)成分和溶剂，(A)成分：选自以不饱和羧酸及其衍生物中的至少1种作为必要单体进行共聚而成的聚合物中的至少1种碱可溶性树脂；(B)成分：式(1)所示的1，2-醌二叠氮化物，![]()
式中，D1～D3分别独立地表示氢原子或具有1，2-醌二叠氮基的有机基团，其中，D1～D3中的至少1个是具有1，2-醌二叠氮基的有机基团，另外，n表示1～3的整数，R表示1价的有机基团。
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