[发明专利]基板收纳容器、基板收纳体及基板输送装置

摘要

一种基板收纳容器，用于收纳层叠多张基板而构成的重叠体，其中，该收纳容器具有：支撑台，其具有可在将基板置于水平状态下放置前述重叠体的支撑面；按压单元，其使按压力均匀地作用在放置在上述支撑台上的重叠体的整个上表面区域，且将上述重叠体按压并固定在上述支撑台上。上述按压单元具有：负荷支撑板，其以与放置在上述支撑台上的重叠体的上表面相面对的方式，与上述支撑台连接而设置；气囊，其配置在上述负荷支撑板和上述重叠体之间，并由上述负荷支撑板来支撑，并使按压力均匀地作用在上述重叠体的整个上表面区域。

主权项

1.一种基板收纳容器，用于收纳多张基板层叠而构成的重叠体，其特征在于，具有：支撑台，其具有可在将基板置于水平的状态下放置上述重叠体的支撑面；按压单元，其使按压力均匀地作用在放置于上述支撑台上的重叠体的整个上表面区域，且将上述重叠体按压并固定在上述支撑台上。