[发明专利]泵送设备

摘要

差动泵送真空系统，它包括多个压力室且连接有用于抽空这些室的泵送设备(100)，此泵送设备包括的第一与第二复式泵(102，104)各具有至少一个第一入口(120)、(124)；第二入口(122)、(126)；第一泵送段(110)与在此第一泵送段下游的第二泵送段(112)，这些段设置成使得从第一入口进入泵的流体通过第一与第二泵送段，而使得从第二入口进入泵的流体只通过所述段中的第二段，其中此第一泵(102)的第一入口(120)连接一第一即较低压力室(10)的出口，此第一泵(102)的第二入口(122)与第二泵(104)的第一入口(102)连接一第二即共用的中等压力室(16)的出口或各相应出口，而此第二泵(104)的第二入口(126)则连接一第三即较高压力室(14)的出口。

主权项

1.差动泵送真空系统，它包括多个压力室以及连接有用于抽空这些室的泵送设备，此泵送设备包括第一与第二复式泵，各具有至少一个第一入口、第二入口、第一泵送段与在此第一泵送段下游的第二泵送段，这些段设置成使得从第一入口进入泵的流体通过第一与第二泵送段，而使得从第二入口进入泵的流体只通过所述段中的第二段，其中这两个泵之一的第二入口与另一个泵的第一入口连接共用压力室的出口或各相应出口，使得工作时此第一复式泵与第二复式泵并联地抽空所述压力室之一。