[发明专利]泵唧装置的气体提供系统有效
申请号: | 200580016551.6 | 申请日: | 2005-04-26 |
公开(公告)号: | CN1957180A | 公开(公告)日: | 2007-05-02 |
发明(设计)人: | P·诺尔思;D·P·曼森 | 申请(专利权)人: | 英国氧气集团有限公司 |
主分类号: | F04B53/00 | 分类号: | F04B53/00;C23C16/44 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 张亚宁;梁永 |
地址: | 英国英格*** | 国省代码: | 英国;GB |
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摘要: | 用于向泵唧装置(106)提供惰性吹扫气体的系统(100)包括多个挠性毛细管(102),各用于把气体从歧管(12)的相应出口传送到泵唧装置(106)的相应端口(104)。各毛细管(102)的内径和长度控制到相应端口(104)的气体流速。 | ||
搜索关键词: | 装置 气体 提供 系统 | ||
【主权项】:
1.一种向泵唧装置提供吹扫气体的方法,所述方法包括采用挠性毛细管向所述泵唧装置的端口传送吹扫气体的步骤。
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