[发明专利]胶带粘结装置及胶带粘结方法无效

专利信息
申请号: 200580016642.X 申请日: 2005-04-12
公开(公告)号: CN1957457A 公开(公告)日: 2007-05-02
发明(设计)人: 齐藤公一;铃木铁司 申请(专利权)人: 有限会社都波岐精工
主分类号: H01L21/68 分类号: H01L21/68;C09J5/00;H01L21/304;H01L21/306
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 代理人: 李贵亮
地址: 日本国*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明的目的在于提供一种,能够将胶带部件良好地粘结于工件上,能够谋求工序的简单化、成本的削减及粘结强度的提高的胶带粘结装置及胶带粘结方法;是将胶带部件(12)粘结于工件(11)的胶带粘结装置(10),设有:载置工件(11)的伸缩薄板部件(25),位于伸缩薄板部件(25)顶面侧的真空室(50),位于伸缩薄板部件(25)底面侧的空气引入部(51),载置伸缩薄板部件(25)的载置部(22b),以防止相对于真空室(50)空气导通的状态保持伸缩薄板部件(25)的保持部件(26),在工件(11)顶部保持胶带部件(12)的胶带保持手段(66),将真空室(50)的内部抽真空的第一吸引手段(36),将空气引入部(51)抽真空的第二吸引手段(36),将空气引入空气引入部(51)的空气引入手段(41),以及将空气以加压状态引入真空室(50)的内部的加压手段(36)。
搜索关键词: 胶带 粘结 装置 方法
【主权项】:
1.一种胶带粘结装置,是将胶带部件粘结于工件上的胶带粘结装置,其特征在于,设有:在顶面载置上述工件的伸缩薄板部件;位于上述伸缩薄板部件的顶面侧,同时,通过该伸缩薄板部件被隔开的真空室;位于上述伸缩薄板部件的底面侧,同时,通过该伸缩薄板部件被隔开的空气引入部;位于作为上述伸缩薄板部件的底面侧、且不与上述空气引入部发生干扰的部位,同时,载置上述伸缩薄板部件的载置部;以防止相对于上述真空室空气导通的状态,保持上述伸缩薄板部件的保持部件;在载置于上述伸缩薄板部件上的上述工件顶部,保持上述胶带部件的胶带保持手段;将上述真空室的内部抽真空的第一吸引手段;将上述空气引入部抽真空的第二吸引手段;将空气引入上述空气引入部的空气引入手段;以及将空气以加压状态引入上述真空室内部的加压手段。
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