[发明专利]用于电镀浴化学剂控制的方法无效
| 申请号： | 200580016803.5 | 申请日： | 2005-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN1957115A | 公开（公告）日： | 2007-05-02 |
| 发明（设计）人： | 阿隆·罗森费尔德;霍曼·哈非兹;志－文·孙;迈克尔·扬;约瑟夫·本克 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C25D21/12 | 分类号： | C25D21/12;C25D21/18 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 赵飞 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 通过将电镀浴溶液提供到构造为最小化添加剂分解的小容积电镀单元丙在预定浴寿命之后废弃电镀浴，提供了一种用于控制电镀浴溶液的化学成分的方法，该电镀浴溶液用于电镀多个衬底。该方法包括确定具有所期望的化学成分的电镀浴溶液的寿命，用电镀浴溶液填充小容积电镀单元，在电镀浴溶液中电镀多个衬底直到达到寿命，并在达到寿命之后废弃电镀浴溶液。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 电镀 化学剂 控制 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于控制电镀浴化学剂的方法，包括：(a)确定具有所期望的化学成分的电镀浴溶液的寿命，所述化学组成分包括一种或多种添加剂；(b)用所述电镀浴溶液填充小容积电镀单元；(c)在所述电镀浴溶液中电镀多个衬底，直到达到所述寿命；并接着(d)在达到所述寿命之后废弃所述电镀浴溶液。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于应用材料公司，未经应用材料公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200580016803.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：电外科设备
- 下一篇：移动通信系统中调度增强的上行链路专用信道的方法和装置
