[发明专利]测量误差校正方法和电子部件特性测量装置

摘要

提供一种能高精度处理具有非信号线端口且电特性因夹具而变化的电子部件的测量误差校正方法和电子部件特性测量装置。该校正方法具有以安装在能测量非信号线端口的测试夹具的状态和安装在不能测量非信号线端口的基准夹具的状态，对校正数据获取用试样测量电特性的第1步骤；以装测试夹具的状态和装基准夹具的状态，对电连接信号线端口和非信号线端口的贯通件进行测量的第2步骤；决定从装测试夹具的状态的测量结果算出以装基准夹具的状态进行测量时的电特性的估计值用的公式的第3步骤；以装测试夹具的状态，测量任意电子部件的第4步骤；以及用决定的公式，算出装基准夹具的状态的电特性的估计值的第5步骤。

主权项

1、一种测量误差校正方法，其特征在于，是对具有连接施加或检测高频信号的信号线的信号线端口和该信号线端口以外的非信号线端口的电子部件，根据以将所述电子部件安装在测试夹具的状态测量所述信号线端口和所述非信号线端口的结果，算出如果以将该电子部件安装在仅能测量所述信号线端口的基准夹具的状态测量所述信号线端口后会得到的所述电子部件的电特性的估计值的测量误差校正方法中，具有以将至少3种校正数据获取用试样安装在所述测试夹具的状态和安装在所述基准夹具的状态，对所述校正数据获取用试样的各信号线端口的至少1个测量电特性的第1步骤；准备电连接至少1个信号线端口和至少1个非信号线端口的校正数据获取用贯通件，并以将所述校正数据获取用贯通件安装在所述测试夹具的状态，测量该信号线端口和该非信号线端口，而且以将所述校正数据获取用贯通件安装在所述基准夹具的状态，测量该信号线端口的第2步骤；根据所述第1和第2步骤取得的测量值，决定从以将所述电子部件安装在所述测试夹具的状态测量所述信号线端口和所述非信号线端口后得到的结果算出如果以将该电子部件安装在所述基准夹具的状态测量所述信号线端口后会得到的所述电子部件的电特性的估计值用的公式的第3步骤；以安装在所述测试夹具的状态，对任意电子部件测量所述信号线端口和所述非信号线端口的第4步骤；以及根据所述第4步骤得到的测量值，使用所述第3步骤决定的所述公式，算出如果以将该电子部件安装在所述的基准夹具的状态测量所述信号线端口后会得到的所述电子部件的电特性的估计值的第5步骤。