[发明专利]用于防止微机电开关中的自启动的机制有效
申请号: | 200580017352.7 | 申请日: | 2005-06-23 |
公开(公告)号: | CN1961397A | 公开(公告)日: | 2007-05-09 |
发明(设计)人: | 曾-官·艾伦·周 | 申请(专利权)人: | 英特尔公司 |
主分类号: | H01H59/00 | 分类号: | H01H59/00 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人: | 林锦辉 |
地址: | 美国加*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 根据一个实施例,公开了一种微机电(MEMS)开关。所述MEMS开关包括衬底、安装在所述衬底上的底电极、安装在所述底电极上的顶电极、安装在所述衬底上的启动电极以及耦合到所述启动电极的电阻器。只要所述开关被开启,所述电阻器就防止所述启动电极上的自启动。 | ||
搜索关键词: | 用于 防止 微机 开关 中的 启动 机制 | ||
【主权项】:
1、一种微机电(MEMS)开关,包括:衬底;底电极,其安装在所述衬底上;顶电极,其安装在所述底电极上;启动电极,其安装在所述衬底上;以及电阻器,其耦合到所述启动电极,用于防止所述启动电极上的自启动。
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