[发明专利]感光化合物

摘要

本发明涉及具有式(I)的新型光酸产生剂，其中这些残基具有在说明书中示出的含义。

主权项

1.一种具有下式的化合物：其中R₁和R₂各自独立地选自C_1-20直链或支化的烷基链；R₃₀、R₃₁、R₃₂、R₃₃和R₃₄的每一个独立地选自Z、氢、任选地含有一个或多个O原子的C_1-20直链或支化的烷基链、C_5-50单环或多环烷基、C_5-50环状烷基羰基、C_6-50芳基、C_6-50芳烷基、芳基羰基亚甲基、-OR₄，其中R₄是氢、C_1-20直链或支化的烷基或者C_5-50单环或多环烷基；Z是-(O)_k-(V)_n-Y，其中V是选自二价C_1-20直链或支化的烷基、二价C_5-50芳基、二价C_5-50芳烷基或者二价C_5-50单环或多环烷基的连接基团；Y选自-C(＝O)-O-R₈和-O-C(＝O)-R₈；R₈是任选地含有一个或多个O原子的C_1-20直链或支化的烷基链、C_5-50单环或多环烷基、或者C_5-50芳基；k为0或1，n为0或1；该任选地含有一个或多个O原子的C_1-20直链或支化的烷基链、C_1-20直链或支化的烷基链、C_5-50单环或多环烷基、C_5-50环状烷基羰基、C_5-50芳烷基、C_5-50芳基或者芳基羰基亚甲基未被取代或者被一个或多个选自以下的基团取代：Z、卤素、C_1-20烷基、C_1-20全氟烷基、C_3-20环状烷基、C_1-20烷氧基、C_3-20环状烷氧基、二C_1-20烷基氨基、双环二C_1-20烷基氨基、羟基、氰基、硝基、tresyl、氧代、芳基、芳烷基、氧原子、CF₃SO₃、芳氧基、芳硫基和式(II)-(VI)的基团：R₁₀和R₁₁各自独立地表示氢原子、任选地含有一个或多个O原子的C_1-20直链或支化的烷基链、或者C_5-50单环或多环烷基，或者R₁₀和R₁₁可以一起表示形成五或六元环的亚烷基，R₁₂表示任选地含有一个或多个O原子的C_1-20直链或支化的烷基链、C_5-50单环或多环烷基、或者C_5-50芳烷基，或者R₁₀和R₁₂一起表示与插入的-C-O-基团一起形成五或六元环的亚烷基，该环上的碳原子任选地被氧原子取代，R₁₃表示任选地含有一个或多个O原子的C_1-20直链或支化的烷基链或者C_5-50单环或多环烷基，R₁₄和R₁₅各自独立地表示氢原子、任选地含有一个或多个O原子的C_1-20直链或支化的烷基链、或者C_5-50单环或多环烷基，R₁₆表示任选地含有一个或多个O原子的C_1-20直链或支化的烷基链、C_5-50单环或多环烷基、C_5-50芳基或者C_5-50芳烷基，和R₁₇表示任选地含有一个或多个O原子的C_1-20直链或支化的烷基链、C_5-50单环或多环烷基、C_5-50芳基、C_5-50芳烷基、基团-Si(R₁₆)₂R₁₇或者基团-O-Si(R₁₆)₂R₁₇，该任选地含有一个或多个O原子的C_1-20直链或支化的烷基链、C_5-50单环、双环或三环烷基、C_5-50芳基和C_5-50芳烷基未被取代或者如上述那样被取代；和A^-是由下式表示的阴离子：                  Rg-O-Rf-SO₃^-其中Rf选自：线型或支化的(CF₂)_j，其中j为4-10的整数；和任选地被全氟C_1-10烷基取代的C₃-C₁₂全氟环烷基二价基团，Rg选自C₁-C₂₀线型、支化、单环或多环烷基，C₁-C₂₀线型、支化、单环或多环烯基，C_5-50芳基和C_5-50芳烷基，该烷基、烯基、芳烷基和芳基未被取代、被取代、部分氟化或全氟化。