[发明专利]集成MEMS和无源元件的组件无效
| 申请号： | 200580017634.7 | 申请日： | 2005-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN1980854A | 公开（公告）日： | 2007-06-13 |
| 发明（设计）人： | 约翰·赫克;马晴;埃亚·巴尔－萨德哈 | 申请（专利权）人： | 英特尔公司 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 王英 |
| 地址： | 美国加*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种设备可以包括：第一衬底、耦合到第一衬底的一个或多个微机电系统(MEMS)、与第一衬底耦合的第二衬底、以及耦合到第二衬底的一个或多个无源元件。一种方法可以包括：将具有耦合到其上的一个或多个MEMS的第一衬底与具有耦合到其上的一个或多个无源元件的第二衬底对准；以及耦合对准的衬底。 | ||
| 搜索关键词： | 集成 mems 无源 元件 组件 | ||
【主权项】：
1、一种设备，包括：第一管芯、第二管芯、以及所述第一管芯与所述第二管芯之间的密闭式密封的腔；在所述第一管芯与所述第二管芯之间并且环绕所述腔周界的密封体；在所述腔内附着到所述第一管芯的一个或多个微机电系统，所述微机电系统通过电链接与所述第一管芯连接；在所述腔内附着到所述第二管芯的一个或多个无源元件，所述无源元件通过电链接与所述第二管芯连接；所述腔内的一个或多个互连，用于使所述第一管芯与所述第二管芯连接；和具有第一端端部和第二端端部的一个或多个导电路径，所述导电路径中的每一个的所述第一端端部与所述互连连接，所述第二端端部可以从组件外部接近以使所述组件与所述组件外部的信号介质连接。
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