[发明专利]放射线敏感性组合物、叠层体及其制造方法和电子部件有效
| 申请号： | 200580017654.4 | 申请日： | 2005-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN1961261A | 公开（公告）日： | 2007-05-09 |
| 发明（设计）人： | 大森宏纪;寺田和代;木内孝司 | 申请（专利权）人： | 日本瑞翁株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/038 | 分类号： | G03F7/038;C08G59/32;G03F7/033;G03F7/40;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 张平元;赵仁临 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种放射线敏感性组合物、在基板上形成使用该放射线敏感性组合物而形成的树脂膜的叠层体、以及该叠层体的制造方法，所述放射线敏感性组合物的电特性优异、不引起显影时的膜厚度的减少或显影膜的剥离、在高温加热后的形状保持性和透明性高、并且耐药品性优异。所述放射线敏感性组合物包含交联剂和放射线敏感性化合物，所述交联剂含有：含有与环氧基团反应的极性基团的聚合物、在主链结构中具有脂环结构并具有3个以上环氧基团的多官能环氧化合物。所述叠层体包括：基板、和使用该交联性树脂组合物而形成的树脂膜。 | ||
| 搜索关键词： | 放射线 敏感性 组合 叠层体 及其 制造 方法 电子 部件 | ||
【主权项】：
1.一种放射线敏感性组合物，其中包含聚合物、交联剂和放射线敏感性化合物，所述聚合物是含有与环氧基团反应的极性基团的聚合物，所述交联剂含有：在主链结构中具有脂环结构并具有3个以上环氧基团的多官能环氧化合物。
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