[发明专利]动磁铁型线性滑台

摘要

本发明提供一种使线性马达驱动时的微小振动的影响最小化，可以容易地提升伺服增益并减小速度波动的动磁铁型线性滑台。具体为动磁铁型线性滑台由使平台(3)往复运动的线性马达和检测平台(3)与固定底座(1)相对位置的检测器件构成，该线性马达由在固定于固定底座(1)的电枢铁心上卷绕多相电枢绕组的电枢(2)和安装于平台(3)底面的垂直方向且在直线导轨的内侧面和电枢(2)的外侧面之间隔着空隙配置的励磁用永久磁铁(4)构成。此外，该检测器件由固定于平台(3)底面侧的线性尺部(5)和安装于电枢(2)顶面侧的传感器探头部(6)组成，并使该检测器件的中心轴与电枢(2)的推力中心轴G－G大致一致。

主权项

1.一种动磁铁型线性滑台，具有由与固定底座平行地相对配置的导向并支撑平台左右自由移动的滑块和导轨组成的直线导轨、使前述平台相对于前述固定底座沿前述导轨上的长度方向往复运动的线性马达、及检测前述平台和前述固定底座相对位置的检测器件的线性滑台；其特征为：前述线性马达是由固定于前述固定底座中央的形成磁气回路的在电枢铁心上卷绕多相电枢绕组的电枢和延伸地安装于前述平台底面的垂直方向且在设置于前述平台左右的直线导轨的内侧面和前述电枢的外侧面之间隔着空隙相对配置的励磁用永久磁铁构成的吸引力抵消型线性马达；前述检测器件由固定于前述平台底面侧的线性尺部和安装于前述电枢顶面侧的用于检测前述线性尺的传感器探头部构成，同时前述线性尺和前述传感器探头构成的检测器件的中心轴与前述电枢的推力中心轴大致一致。