[发明专利]检测还原气体或醇的FET基传感器及制备和操作方法无效

专利信息
申请号: 200580017737.3 申请日: 2005-04-21
公开(公告)号: CN1997889A 公开(公告)日: 2007-07-11
发明(设计)人: M·弗雷舍;H·马克斯纳;G·基斯;U·兰普 申请(专利权)人: 迈克纳斯公司
主分类号: G01N27/414 分类号: G01N27/414
代理公司: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人: 刘明海
地址: 德国*** 国省代码: 德国;DE
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摘要: 本申请涉及特别检测还原气体的传感器,和涉及制备和操作方法。FET基气体传感器由至少一个场效应晶体管和至少一个气体敏感层和参比层组成,其中所述两个层材料的在进气加载时产生的逸出功变化用于控制场效应结构,其中由金属氧化物组成的气体敏感层在测量气体可达到的其表面上包含氧化催化剂。
搜索关键词: 检测 还原 气体 fet 传感器 制备 操作方法
【主权项】:
1.FET基气体传感器,其由至少一个场效应晶体管和至少一个气体敏感层和参比层组成,其中所述两个层材料的在进气加载时产生的逸出功变化用于控制场效应结构,其中由金属氧化物组成的气体敏感层在测量气体可达到的其表面上含有氧化催化剂。
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